LIC4100海德汉HEIDENHAIN直线光栅尺传感器,是一款紧凑型敞开式绝对式直线光栅尺。公司常年备有现货。

LIC4100海德汉HEIDENHAIN直线光栅尺传感器

LIC系列直线光栅尺不仅精度高，而且支持高速运动。测量步距仅1 nm和运动速度可高达600 m/min。绝对式位置测量，并且抗污性能优异，可靠性高。这系列光栅尺采用大扫描区设计，拥有优异的抗污性能。测量基准上的局部异物几乎不影响信号质量和测量可靠性。

• 高速运动的直线轴

• 测量长度达28 m

• 超小测量步距版（<1 nm）

• 可提供高真空度版

• 可提供功能安全特性版

• 支持不同的安装方式

• 接口:EnDat、发那科、三菱、松下和安川

选型建议

1. 尺身材质选择：超精密 / 恒温环境选玻璃陶瓷；通用高精度选玻璃；超长行程选钢带

2. 精度要求：半导体 / 光学应用选 ±1μm/m；通用超精密选 ±2μm/m；一般高精度选 ±3μm/m

3. 分辨率选择：纳米级定位需求选 < 1nm 版本；常规高精度选 1nm~5nm 版本

4. 环境适配：真空环境选 LIC4100 V 系列；安全关键设备选带 SIL 2 认证的 F 型号

5. 接口选择：优先选择 EnDat 2.2 接口（通用性强，支持诊断功能），根据数控系统匹配其他接口

6. 安装方式：根据机床热膨胀特性选择合适安装方式，长行程钢带尺需采用张力安装

海德汉 (Heidenhain) LIC4100 系列：紧凑型敞开式绝对式直线光栅尺

LIC4100 是海德汉紧凑型敞开式绝对式直线光栅尺的旗舰系列，采用绝对位置测量技术与METALLUR 刻线标准（玻璃 / 玻璃陶瓷 / 钢带），以纳米级分辨率（低至 < 1nm）、超长测量长度（单段最长 28m）、高速运动能力（最高 480m/min）和高污染抵抗力为核心优势，专为超精密加工、半导体制造、真空环境应用和高速直驱系统设计，是对精度与速度有要求的设备。

核心技术特点

1. 测量原理与基准

• 绝对式测量：上电即提供绝对位置值，无需回零，确保系统安全性与启动效率

• METALLUR 刻线技术：20μm 光栅周期，4μm 信号周期，采用反射式金层特殊光学结构，提供信号质量与长期稳定性

• 三种尺身材质可选：

• 玻璃：热膨胀系数 8×10⁻⁶K⁻¹，适合高精度通用应用

• 玻璃陶瓷：零热膨胀系数，适合温度变化环境与最高精度要求

• 不锈钢钢带：热膨胀系数 11.5×10⁻⁶K⁻¹，适合超长行程（最长 28m）与恶劣环境

2. 纳米级精度与高速性能

• 超高分辨率：测量步距低至 **<1nm**，通过对增量轨道信号的高倍插值与绝对轨道信息关联实现

• 高速运动能力：最高速度达480m/min（8m/s），远超常规光栅尺，适配直驱电机等高动态系统

• 高精度等级：可达 **±1μm/m**，满足超精密测量与加工需求

• 信号稳定性：大扫描窗口设计，ASIC 集成扫描芯片，确保高速运动下信号质量稳定

LIC4100海德汉HEIDENHAIN直线光栅尺传感器

3. 灵活安装与环境适应性

• 四种安装方式：适配不同热膨胀与机床环境，包括：

1. 标准安装（固定端部 + 中间支撑）

2. 浮动安装（允许热膨胀）

3. 张力安装（钢带尺专用）

4. 真空专用安装

• 高污染抵抗力：光学扫描系统对灰尘、油污等工业污染物不敏感，减少维护需求

• 三色 LED 信号质量指示灯：实时显示信号状态，便于安装调试与维护

• 功能安全选项：部分型号提供 SIL 2 功能安全版本，符合 EN 61508 和 EN ISO 13849-1 标准，适用于安全关键型应用

4. 真空应用能力（LIC4100 V 系列）

• 高真空兼容：可在低至6×10⁻⁷mbar真空环境下工作，支持 100°C 烘烤温度

• 低释气设计：真空专用 PCB、粘合剂和涂层，减少真空环境下的气体释放

• 通气孔设计：加快抽真空速度，提高设备效率

• 非铁磁材料：确保过程可靠性，适合半导体等特殊应用领域

主要型号与区别