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HEIDENHAIN敞开式光栅尺LIC4100技术参数

更新时间:2026-06-04      浏览次数:25

HEIDENHAIN敞开式光栅尺LIC4100技术参数

参数类别

具体数值

测量类型

绝对式位置测量

测量基准

METALLUR 相位光栅,20μm 周期,4μm 信号周期

尺身材质选项

玻璃(8×10⁻⁶K⁻¹)、玻璃陶瓷(0×10⁻⁶K⁻¹)、不锈钢钢带(11.5×10⁻⁶K⁻¹

精度等级

±1μm/m±2μm/m±3μm/m

测量长度范围

100mm~28000mm100mm~3040mm 玻璃 / 玻璃陶瓷,最长 28m 钢带)

最大速度

480m/min (8m/s)

最小测量步距

<1nmEnDat 2.2 接口,高倍插值)

输出信号

绝对位置信号(EnDat 2.2FanucMitsubishiPanasonicYaskawa

参考点

绝对位置天然参考,无需额外参考点

防护等级

敞开式设计,扫描头 IP 64

工作温度

0°C~40°C(标准),真空型支持 - 20°C~60°C

电源

3.6V~14V DC<300mA

扫描头尺寸

紧凑型设计,高度 25mm,宽度 35mm

安装方式

四种机械安装方式可选,适配不同热膨胀需求

HEIDENHAIN敞开式光栅尺LIC4100技术参数

典型应用场景

  1. 半导体与电子制造:晶圆加工设备、光刻机、电子束 / 离子束设备、PCB 组装机等纳米级对位精度要求设备

  2. 超精密机床:金刚石刀具加工光学器件机床、磁盘端面车床、铁氧体元件磨床等高精度加工设备

  3. 直驱电机系统:直线电机驱动的高速定位平台、自动化生产线、机器人第七轴等高动态应用

  4. 真空环境设备:真空镀膜机、半导体蚀刻设备、太空模拟实验室等特殊环境应用

  5. 测量与测试设备:高精度坐标测量机、比较仪、测量显微镜、大型结构件疲劳测试设备

  6. 医疗与科研仪器:精密医疗设备、生物芯片制造设备、粒子加速器定位系统等科研应用


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