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厂商性质:经销商
更新时间:2026-06-03
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HEIDENHAIN直线光栅尺传感器LIP200系列
LIP 200 外露式直线光栅尺采用干涉扫描技术,其测量基准为微晶玻璃刻度载体上的相位光栅。这类直线光栅尺兼具极小的测量步距与ji高的移动速度。LIP 200系列直线编码器配备了优化的扫描电子元件和高透光率的光栅结构,具备出色的速度与位置稳定性。
LIP 200 系列不仅精度高,还具备极快的移动速度。其最小测量步距可达 31.25 皮米,最大移动速度达 180 米/分钟,是长度达三米的高动态精密应用场景的理想编码器。得益于极短的信号周期和高分辨率,LIP 200 编码器非常适用于高精度应用场景。对于这类高精度编码器而言,其安装公差异乎寻常地宽松,安装操作十分便捷。
核心技术特点
1. 测量原理与基准
干涉扫描:利用光的干涉现象实现纳米级精度测量,信号周期仅2.048
DIADUR 相位光栅:高精度刻线技术,确保长期测量稳定性
2. 性能极限
最小测量步距:低至31.25 皮米(通过 EnDat 2.2/3 接口实现)
最高运动速度:180m/min (3m/s),兼顾高精度与高动态
精度等级:±1μm、±3μm(标准),可选更高精度型号
测量长度:20mm~3040mm(最长可达 3 米)
3. 安装与使用优势
宽大安装公差:间距变化 ±0.2mm,滚动 / 俯仰 ±5mrad,安装简便
内置参考点:精确光学参考点,用于建立绝对原点位置
信号输出:标准 1Vpp 正弦信号,可选 TTL 方波,支持 EnDat 2.2、EnDat 3、DRIVE-CLiQ 等数字接口
主要型号与区别
型号 | 核心差异 | 适用场景 |
LIP 211 | 标准型,单参考点 | 通用超精密机床、测量设备 |
LIP 291 | 多参考点(最大 5 个) | 需要频繁建立绝对位置的自动化设备 |
LIP 200 系列变种 | 真空兼容型、长行程型 | 半导体制造、真空环境应用 |
HEIDENHAIN直线光栅尺传感器LIP200系列
关键技术参数表
参数类别 | 具体数值 |
测量基准 | DIADUR 相位光栅,2.048μm 周期 |
尺身材质 | Zerodur 玻璃陶瓷 |
热膨胀系数 | 0.1×10⁻⁶K⁻¹ |
精度等级 | ±1μm, ±3μm |
测量长度范围 | 20mm~3040mm |
最大速度 | 180m/min (3m/s) |
最小测量步距 | 31.25pm (EnDat 接口) |
输出信号 | 1Vpp 正弦信号(A, B, sin, cos) |
参考点 | 单参考点 (LIP211) 或多参考点 (LIP291) |
安装公差 | 间距 ±0.2mm,滚动 / 俯仰 ±5mrad |
工作温度 | 0°C~40°C(标准),可选扩展温度范围 |
典型应用场景
超精密机床:金刚石车床、光学元件加工设备、磁存储盘加工机床
半导体与电子制造:晶圆光刻机、PCB 电路板组装机、半导体检测设备
高精度测量仪器:三坐标测量机、光学比较仪、激光干涉仪配套
科研设备:纳米定位平台、同步辐射装置、天文望远镜定位系统
